Bearbetningsmetod med bearbetningsnoggrannhet upp till 1 μ M. Precisionsbearbetning realiseras genom att använda precisionsmaskinverktyg, mätverktyg och mätare under strikt kontroll av miljöförhållandena. Det kallas ultraprecisionsbearbetning när bearbetningsnoggrannheten når eller överstiger 0,1 μ M.

Den tekniska effekten av precisionsbearbetning är som följer:

Noggrannheten för geometrisk form och delarnas inbördes läge kan nå mikron eller vinklad sekund;

Gränsen eller funktionens dimensionstolerans för delen är under mikrometer;

Ytmikrojämnheterna (medelhöjdskillnad på ytajämnhet) för delar är mindre än 0,1 μm;

De inbördes armaturerna kan uppfylla kraven för att kombinera kraft;

Vissa delar kan också uppfylla kraven på exakta mekaniska eller andra fysiska egenskaper;